réacteur de traitement chimique - Définition - français
Équipements pour le traitement de plaquettes à semi-conducteurs tels que réacteurs épitaxiaux, systèmes de traitement thermique rapide, réacteurs de dépôt par couche atomique, réacteurs de dépôt chimique en phase vapeur, réacteurs de dépôt physique en phase vapeur, graveurs au plasma, implanteurs ioniques, polisseurs mécano-chimiques